檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "Diffusion".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="郭俞麟"
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以RF濺鍍來成長TaNx薄膜並觀察N2/Ar流量比對TaNx薄膜之沈積速率、N/Ta原子比、電阻率及結晶結構之影響。實驗結果顯示TaNx薄膜的沈積速率會隨著N2/Ar流量比的增加而下降;TaNx薄膜…
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本研究利用常壓電漿噴射束系統(Atmospheric Pressure Plasma Jet, APPJ)製備氧化釓摻雜氧化鈰(Gd2O3-doped CeO2, GDC)擴散阻障層(Dif…
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本研究使用穿透式電子顯微鏡與掃描穿透式電子顯微鏡技術,分析薄膜高熵氧化物異質介面系統分析。 一種基於尖晶石結構的高熵氧化物,成長在兩種不同的氧化物基板上,並使用聚焦離子束製備試片。在高解析穿透式電子…